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AT型石英晶體諧振器的優(yōu)點(diǎn)、缺點(diǎn)與愛普生的解決方法

AT型石英晶體諧振器的振蕩是典型的厚度變形振蕩，其理想的振蕩狀態(tài)是只在中央部分振蕩，而周圍部分不產(chǎn)生振蕩。對(duì)于MHz 頻帶中較低頻帶的 AT 型石英晶體諧振器，大多使用倒角加工，使石英片的中央部分與周圍的厚度不同，從而獲得該效果。通常，石英晶振制造商更多使用AT型石英晶體諧振器。

AT型無源貼片晶振的優(yōu)點(diǎn)在于：

①在常溫范圍內(nèi)有拐點(diǎn)，頻率在較寬的溫度范圍內(nèi)保持穩(wěn)定；
②覆蓋的高頻范圍較寬；
③與石英片的長(zhǎng)寬尺寸無關(guān)，只需控制石英片厚度就能獲得所需高頻，因此適于小型化；
④只需旋轉(zhuǎn) Z軸就能進(jìn)行石英片切割，便于生產(chǎn)。

缺點(diǎn)：常規(guī)AT晶振的頻率輸出范圍在較小，通常機(jī)械性研磨實(shí)現(xiàn)批量、穩(wěn)定生產(chǎn)的頻率限度為以基波起振 50MHz 左右（石英片厚度為約 30μm）。但是，若要從 AT型石英晶體直接起振高頻，則需將石英片加工得很薄。這在加工方法和機(jī)械性強(qiáng)度等方面存在著制約。

愛普生晶體諧振器的解決方案：為了獲取更大的頻率輸出，目前EPSON采用其獨(dú)有的"QMEMS"技術(shù)，生產(chǎn)出只將振蕩部分加工變薄的反向臺(tái)形 AT 型石英晶體，生產(chǎn)出只將激勵(lì)部分加工成幾微米的反向臺(tái)結(jié)構(gòu)，使用高次振動(dòng)的振動(dòng)模式（三次諧波）達(dá)到 50MHz 至 150MHz，既保證了芯片的強(qiáng)度又能以基波起振高頻，由此產(chǎn)生高頻、穩(wěn)定的基準(zhǔn)信號(hào)。

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